1、容易使用度不同：

在日常工作中，從自動化來講，ICP-OES是*成熟的，可由技術不熟練的人員來應用ICP-OES專家制定的方法進行工作。

ICP-MS的操作直到現在仍較為復雜，自1993年以來，盡管在計算機控制和智能化軟件方面有很大的進步，但在常規分析前仍需由技術人員進行精密調整，ICP-MS的方法研究也是很復雜及耗時的工作

2、試樣中的總固體溶解量不同：

在常規工作中，ICP-OES可分析10%TDS的溶液，甚至可以高至30%的鹽溶液。

在短時期內ICP-MS可分析0.5%的溶液，但大部分分析人員樂于采用*多0.2%TDS的溶液。當原始樣品是固體時，與ICP-OES相比，ICP-MS需要更高倍數的稀釋，其折算到原始固體樣品中的檢出限顯示不出很大優勢的現象也就不令人驚奇了。

3、線性動態范圍LDR不同：

ICP-MS具有超過105的LDR，各種方法可使其LDR開展至108，但不管如何，對ICP-MS來說：高基體濃度會導致許多問題，而這些問題的*好解決方案是稀釋，正由于這個原因，ICP-MS應用的主要領域在痕量/超痕量分析。

ICP-OES具有105以上的LDR且抗鹽份能力強，可進行痕量及主量元素的測定，ICP-OES可測定的濃度高達百分含量，因此，ICP-OES外加ICP-MS，或GFAAS可以很好地滿足實驗室的需要。

4、精密度不同：

ICP-MS的短期精密度一般是1～3% RSD，這是應用多內標法在常規工作中得到的。長期(幾個小時)精密度為小于5%RSD。使用同位素稀釋法可以得到很好的準確度和精密度，但這個方法的費用對常規分析來講是太貴了。

ICP-OES的短期精密度一般為0.3～2%RSD，幾個小時的長期精密度小于3%RSD。

5、樣品分析能力不同：

ICP-MS有驚人的能力來分析大量測定痕量元素的樣品，典型的分析時間為每個樣品小于5分鐘，在某些分析情況下只需2分鐘。Consulting實驗室認為ICP-MS的主要優點即是其分析能力。

ICP-OES的分析速度取決于是采用全譜直讀型還是單道掃描型，每個樣品所需的時間為2或6分鐘，全譜直讀型較快，一般為2分鐘測定一個樣品。

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